Χημική απόθεση αλουμινίου από ατμό από την πρόδρομη ένωση DMEAA: Διερεύνηση μηχανισμών χημείας και κινητικής

Η Χημική Απόθεση από Ατμό –ΧΑΑ (Chemical Vapor Deposition – CVD) αποτελεί μια καθιερωμένη διεργασία για την παραγωγή λεπτών υμενίων αρκετών μετάλλων, πολλών αμετάλλων, όπως ο άνθρακας και το πυρίτιο, καθώς και μεγάλου αριθμού ενώσεων και συμπλόκων. Η διεργασία αυτή βρίσκει αρκετές εφαρμογές στον το...

Πλήρης περιγραφή

Κύριοι συγγραφείς: Ψαρέλλης, Γεώργιος, Psarellis, Georgios
Άλλοι συγγραφείς: Μπουντουβής, Ανδρέας
Μορφή: bachelorThesis
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ) 2017
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/45050