Χημική απόθεση αλουμινίου από ατμό από την πρόδρομη ένωση DMEAA: Διερεύνηση μηχανισμών χημείας και κινητικής
Η Χημική Απόθεση από Ατμό –ΧΑΑ (Chemical Vapor Deposition – CVD) αποτελεί μια καθιερωμένη διεργασία για την παραγωγή λεπτών υμενίων αρκετών μετάλλων, πολλών αμετάλλων, όπως ο άνθρακας και το πυρίτιο, καθώς και μεγάλου αριθμού ενώσεων και συμπλόκων. Η διεργασία αυτή βρίσκει αρκετές εφαρμογές στον το...
Κύριοι συγγραφείς: | , |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | bachelorThesis |
Γλώσσα: | Greek |
Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ)
2017
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/45050 |