Μαθηματική προσομοίωση χημικών διεργασιών απόθεσης από ατμό: απόθεση Βολφραμίου σε κατακόρυφο αντιδραστήρα
Στην παρούσα μεταπτυχιακή εργασία μελετάται η λειτουργία κατακόρυφου αντι-δραστήρα χημικής απόθεσης από ατμό με ψυχρά τοιχώματα σε συνθήκες χαμηλής πίεσης για την παρασκευή στερεού υμενίου βολφραμίου. Στην πρώτη ενότητα γίνεται αναφορά στους μηχανισμούς της χημικής απόθεσης από ατμό και στα συστήματ...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | masterThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών
2015
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/42433 |
Φορτώνει......