Υπολογιστική ανάλυση της χημικής απόθεσης από ατμό υμενίων οξειδίου του κασσιτέρου
Η Χημική Απόθεση από Ατμό (ΧΑΑ) είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη μέθοδος απόθεσης λεπτών υμενίων για βιομηχανικούς, εμπορικούς και ερευνητικούς σκοπούς. Οι διεργασίες αυτές μπορούν να πραγματοποιηθούν σε διάφορες συνθήκες λειτουργίας (πίεση, θερμοκρασία τοιχωμάτων αντιδραστήρα, θερμοκρασία υποστρωμ...
Κύριοι συγγραφείς: | , |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | bachelorThesis |
Γλώσσα: | Greek |
Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ)
2018
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/47334 |