Μελέτη απόθεσης GaN σε αντιδραστήρα χημικής απόθεσης από ατμό με περιστρεφόμενο υπόστρωμα
Η διεργασία της χημικής απόθεσης από ατμό (XAA) είναι μία από τις βασικότερες διεργασίες παραγωγής λεπτών στερεών υμενίων. Η απόθεση των λεπτών υμενίων πραγματοποιείται πάνω σε ειδικές επιφάνειες (υποστρώματα) οι οποίες συνήθως περιστρέφονται και θερμαίνονται. Η ΧΑΑ αποσκοπεί στην παραγωγή υμενίων π...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | bachelorThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ)
2016
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/43114 |