Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ-LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6 : εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W-Si και διόδων MOS : W-SiO2-Si /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | Greek |