Αποστολή με SMS: Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ-LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6 :