Μουτσάκης, Α., & Τσαμάκης, Δ. Μ. Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ-LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6: εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W-Si και διόδων MOS : W-SiO2-Si.
Παραπομπή Chicago StyleΜουτσάκης, Αντώνης, and Δημήτρης Μ Τσαμάκης. Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ-LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6: εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W-Si και διόδων MOS : W-SiO2-Si.
Παραπομπή MLAΜουτσάκης, Αντώνης, and Δημήτρης Μ Τσαμάκης. Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ-LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6: εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W-Si και διόδων MOS : W-SiO2-Si.