Η επίδραση της τεχνικής εναπόθεσης ατομικών υμενίων σε αισθητήρες παραμόρφωσης
Σκοπός της παρούσας διπλωµατικής εργασίας, είναι η µελέτη των επιστρώσεων οξειδίου του Αλουµινίου (Al2O3) µε την τεχνική της ατοµικής εναπόθεσης υµενίων (Atomic Layer Deposition, ALD) σε αισθητήρες παραµόρφωσης νανοσωµατιδίων πλατίνας (Pt) καθώς επίσης και η επίδρασή τους στην ευαισθησία και στη βρα...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | masterThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών
2017
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/45875 |