Υπολογιστική μελέτη πολλαπλότητας χώρου λύσεων σε αντιδραστήρα περιστρεφόμενου υποστρώματος για απόθεση υμενίων από ατμό
Οι διεργασίες χημικής απόθεσης από ατμό χρησιμοποιούνται ευρέως στην σύγχρονη βιομηχανία, με κύριες εφαρμογές στην παραγωγή ημιαγώγιμων υλικών, στο πεδίο της παραγωγής προϊόντων της οπτικής και της μικροηλεκτρονική. Στόχος των διεργασιών χημικής απόθεσης από ατμό είναι η ανάπτυξη λεπτών φιλμ (υμενίω...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | bachelorThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ)
2015
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/42622 |