Πολλαπλότητα Λύσεων σε Συμμετρικό Αντιδραστήρα Χημικής Απόθεσης από Ατμό: Συνύπαρξη Συμμετρικών και Μη-Συμμετρικών Πεδίων Ροής
Η χημική απόθεση από ατμό (ΧΑΑ) είναι μία διεργασία που χρησιμοποιείται ευρέως στην παραγωγή λεπτών μεταλλικών υμενίων με εφαρμογή,μεταξύ άλλων σε μίκρο- και νανο-εξαρτήματα ηλεκτρονικών συσκευών. Συμαντική συνεισφορά στον σχεδιασμό της διεργασίας παραγωγής έχει πλέον η προσομοίωση με προχωρημένε...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | masterThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολοτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων
2014
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/40636 |