Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications /
| Άλλοι συγγραφείς: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Norwich :
Noyes Publications,
c2002
|
| Σειρά: | Materials science and process technology series
|
| Θέματα: |