Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges /
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Berlin :
Springer-Verlag,
c2004
|
| Σειρά: | Springer series in materials science ; ;
v.72 |
| Θέματα: |