Dabrowski, J., & Weber, E. R. (2004). Predictive simulation of semiconductor processing: Status and challenges. Berlin: Springer-Verlag.
Παραπομπή Chicago StyleDabrowski, Jarek, and Eicke R. Weber. Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges. Berlin: Springer-Verlag, 2004.
Παραπομπή MLADabrowski, Jarek, and Eicke R. Weber. Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges. Berlin: Springer-Verlag, 2004.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.