The physics of micro/nano-fabrication /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
New York :
Plenum Press,
c1992
|
| Σειρά: | Microdevices : : physics and fabrication technologies
|
| Θέματα: |