Κύριος συγγραφέας:	Αβαριτσιώτης, Ιωάννης Ν
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Ελλάδα). Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	Greek
Έκδοση:	Αθήνα : [Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο], 2001
Θέματα:	Microelectromechanical systems