Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Boca Raton :
CRC Press,
c2001
|
| Σειρά: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
|
| Θέματα: |