Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : : materials, technology, and applications /
| Άλλοι συγγραφείς: | , , |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Westwood, NJ. :
Noyes Publications,
c1993
|
| Σειρά: | Materials science and process technology series
|
| Θέματα: |