Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication/
| Συλλογικό Έργο: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Bellingham,: London:
SPIE Optical Engineering Press ; Institution of Electrical Engineers,
c1997
|
| Σειρά: | IEE materials & devices series ;
12 IEE materials & devices series ; 12A-12B. SPIE Press monograph PM39-PM40 |
| Θέματα: |