Silicon micromachining /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Cambridge, UK New York :
Cambridge University Press,
1998
|
| Σειρά: | Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ;
7 |
| Θέματα: |