Elwenspoek, M., Jansen, H. V., & Jansen, H. V. (1998). Silicon micromachining. Cambridge, UK New York: Cambridge University Press.
Παραπομπή Chicago StyleElwenspoek, Miko, Henri V. Jansen, and H. V. Jansen. Silicon Micromachining. Cambridge, UK New York: Cambridge University Press, 1998.
Παραπομπή MLAElwenspoek, Miko, Henri V. Jansen, and H. V. Jansen. Silicon Micromachining. Cambridge, UK New York: Cambridge University Press, 1998.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.