Λιθογραφία πυριτίου με laser
Η επιφανειακή ανάπτυξη δομών και ο λεπτομερής χειρισμός τους στα στερεά υλικά με τη χρήση παλμικού laser παρουσιάζε και παρουσιάζει, ακόμη, μεγάλο ενδιαφέρον. Από τα μέσα της προηγούμενης δεκαετίας, υπήρχε ραγδαία ανερχόμενο ενδιαφέρον για τη συγκεκριμένη τεχνολογία, η οποία ενισχύθηκε με τη παρουσί...
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | masterThesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών
2008
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dspace.lib.ntua.gr/handle/123456789/44650 |