Ολοκληρωμένη προσομοίωση εξέλιξης τοπογραφίας κατά την εγχάραξη μίκρο και νάνο-δομών με πλάσμα /

Κύριος συγγραφέας: Κόκκορης, Γεώργιος Π
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Ελλάδα). Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων
Άλλοι συγγραφείς: Μπουντουβής, Ανδρέας Γ
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek