Fundamental electron interactions with plasma processing gases /
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
New York :
Kluwer Academic/Plenum Publishers,
c2004
|
| Σειρά: | Physics of atoms and molecules
|
| Θέματα: |