Κύριος συγγραφέας:	Pelesko, John A.
Άλλοι συγγραφείς:	Bernstein, David H.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	Boca Raton, FL. : Chapman & Hall, c2003
Θέματα:	Microelectromechanical systems > Mathematical models