Νέα υλικά και διεργασίες για μικρολιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας /

Κύριος συγγραφέας: Βασιλοπούλου, Μαρία
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Ελλάδα). Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνικής των Υλικών
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek