Κύριος συγγραφέας:	Lieberman, M.A.
Άλλοι συγγραφείς:	Lichtenberg, Allan J.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	New York: John Wiley & Sons, c1994
Θέματα:	Plasma dynamics Thin films > Surfaces Plasma etching