Κύριος συγγραφέας:	Senuria, Stephen D., 1940-
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	New York: Springer, c2001
Θέματα:	ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΜΗΧΑΝΙΚΑ ΣΥΣΤΗΜΑΤΑ > ΣΧΕΔΙΟ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΣΧΕΔΙΑΣΜΟΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΩΝ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ Microelectromechanical systems System design Microelectronics