Ανάπτυξη τριστρωματικού λεπτού υμενίου Al-Al2O3-Al για τη μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας - Φούντα, Βαλέρια (Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Μηχανικών Μεταλλείων Μεταλλουργών, 2017)
Σκοπός της παρούσας διπλωματικής εργασίας είναι η μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας. Για την επίτευξη του στόχου αυτού, αναπτύχθηκαν δομές τριστρωματικών λεπτών υμενίων Al-Al2O3-Al σε υποστρώματα πυριτίου, με την συνδυαστική μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης-θερμικής οξείδωσης και τη μέθοδο της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής. Ιδιαίτερη βαρύτητα δόθηκε στον χαρακτηρισμό των υμενίων, όπου χρησιμοποιήθηκαν οι μέθοδοι του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης, του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου ηλεκτρονικής δέσμης και της περιθλασιμετρίας ακτίνων Χ. Οι μετρήσεις έδειξαν ότι η μέθοδος της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής παράγει υμένια με ελεγχόμενο πάχος και με πιο ομοιογενή επιφάνεια σε σύγκριση με τη μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης που πρέπει να συνδυαστεί με θερμική κατεργασία. Επιπλέον, με τη μέθοδο παλμικής διέγερσης με ρεύμα, που εφαρμόσθηκε στα υμένια, μελετήθηκε το φαινόμενο της σήραγγας, το οποίο έδωσε ενθαρρυντικά αποτελέσματα ώστε οι δομές αυτές να αναπτυχθούν και να χρησιμοποιηθούν μελλοντικά σε μη πτητικές μνήμες υπολογιστών, οι οποίες βασίζονται στο μετασχηματισμό φάσης των υλικών