Αλληλεπίδραση ακτινοβολίας laser με ημιαγωγούς - Παπαδημητρίου, Βασίλης (Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών. Τομέας Φυσικής. Εργαστήριο Οπτοηλεκτρονικής, Λέηζερ και Εφαρμογών τους, 2016)
H εργασία αυτή παρουσιάζει τα αποτελέσματα μιας πειραματικής μελέτης που στόχευε να προσδιορίσει τις καλύτερες συνθήκες θερμικής ανόπτησης για ντοπαρισμένα δείγματα πυριτίου, προκειμένου να επιτευχθεί διαμόρφωση της ηλεκτρικής αγωγιμότητας των επιλεγμένων περιοχών για την ανάπτυξη ρηχών επαφών p-n. Τα εξεταζόμενα δείγματα, ήταν wafer γερμανίου και wafer πυριτίου με επιφανειακή οξείδωση αλλά και με προσμείξεις Βορίου στην επιφάνειά τους. Οι διατάξεις laser που χρησιμοποιήθηκαν για την πειραματική μελέτη, ήταν ένα laser Νd:YAG στα 1,064 μm και ένα ΤΕΑ CO2 laser στα 10,6 μm. 'Ολα τα laser παρήγαγαν παλμούς στην κλίμακα των ns. 'Οπως αναφέρθηκε παραπάνω, ο βασικός στόχος αυτης της εργασίας ήταν η κατασκευή ρηχών επαφών από προσμείξεις Βορίου σε βάθη 13 nm. Γι αυτόν το λόγο, η διαδικασία της ανόπτησης έπρεπε να αποδώσει υψηλή ενεργοποίηση και πλήρη ανακρυστάλλωση των ακτινοβολημένων περιοχών. Προκειμένου να προσδιοριστεί η επίδραση της ακτινοβολίας στα δείγματα, αυτά μελετήθηκαν μέσω ηλεκτρονικού μικροσκοπίου. Με αυτόν τον τρόπο, μελετήθηκαν και καταγράφηκαν οχι μόνο οι αλλαγές στη μορφολογία των ακτινοβολημένων περιοχών, αλλά και τα φαινόμενα τήξης και ανακρυστάλλωσης που ίσως προέκυψαν στην περιφέρεια των ακτινοβολημένων περιοχών. Τα δείγματα, χαρακτηρίστηκαν ηλεκτρικά με βάση τη μέθοδο “Van Der Pauw”, προκειμένου να διαπιστωθούν αλλαγές στην αγωγιμότητα των ακτινοβολημένων περιοχών για την ανάπτυξη ρηχών επαφών.