Κουπουσουάμι, Β. Μ., & N/A. (1970). Contact edge roughness in euv lithography: Metrology and process evaluation. N/A.
Παραπομπή Chicago StyleΚουπουσουάμι, Βιζαγιακουμάρ Μουρουγκεσάν, and N/A. Contact Edge Roughness in Euv Lithography: Metrology and Process Evaluation. N/A, 1970.
Παραπομπή MLAΚουπουσουάμι, Βιζαγιακουμάρ Μουρουγκεσάν, and N/A. Contact Edge Roughness in Euv Lithography: Metrology and Process Evaluation. N/A, 1970.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.