Αποστολή με SMS: Επιταξιακή ανάπτυξη με ΜΒΕ οξειδίων μετάλλων υψηλής διηλεκτρικής σταθεράς πάνω σε πυρίτιο για εφαρμογές σε τεχνολογίες αιχμής /