Liu, C. (2006). Foundations of MEMS. Upper Saddle River, N.J.: Pearson Education.
Παραπομπή Chicago StyleLiu, Chang. Foundations of MEMS. Upper Saddle River, N.J.: Pearson Education, 2006.
Παραπομπή MLALiu, Chang. Foundations of MEMS. Upper Saddle River, N.J.: Pearson Education, 2006.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.