Syshevski, S. E. (2002). MEMS and NEMS: Systems, devices, and structures. Boca Raton, FL: CRC Press.
Παραπομπή Chicago StyleSyshevski, Sergey Edward. MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures. Boca Raton, FL: CRC Press, 2002.
Παραπομπή MLASyshevski, Sergey Edward. MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures. Boca Raton, FL: CRC Press, 2002.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.