Madou, M. J. (2002). Fundamentals of microfabrication: The science of miniaturization (2nd ed.). Boca Raton, Fla.: CRC.
Παραπομπή Chicago StyleMadou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization. 2nd ed. Boca Raton, Fla.: CRC, 2002.
Παραπομπή MLAMadou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization. 2nd ed. Boca Raton, Fla.: CRC, 2002.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.